ระบบแบบกลุ่มและแบบอินไลน์

สอบถามไปยังผู้ให้บริการ

ระบบกลุ่ม

AURION นำเสนอระบบหลายห้องที่จัดการวัสดุภายใต้สุญญากาศซึ่งปรับให้เหมาะกับความต้องการของคุณ การกำหนดค่าที่มีให้เลือก ได้แก่ ห้องล็อกโหลด ห้องถ่ายโอน และโมดูลกระบวนการสำหรับกระบวนการสปัตเตอร์และ RIE

ระบบอินไลน์

AURION นำเสนอระบบแบบอินไลน์ (ผ่าน) พร้อมการขนส่งวัสดุรองรับภายใต้สุญญากาศที่ปรับแต่งตามความต้องการของคุณ การกำหนดค่าที่มีให้เลือก ได้แก่ ห้องโหลดล็อค ห้องเตรียมผิว และห้องสปัตเตอริง มีทั้งแบบแนวตั้งและแนวนอน

สอบถามไปยังผู้ให้บริการ

หมวดหมู่
ข้อเสนอ

ประเทศ
เยอรมนี