ความเร็ว, ความละเอียด, 2D หรือ 3D - ขึ้นอยู่กับการนำไปใช้ ผู้ผลิตมีความสำคัญที่แตกต่างกันเมื่อทำการตรวจสอบผลิตภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์ Comet Yxlon นำเสนอระบบตรวจสอบด้วยรังสีเอกซ์และ CT ที่หลากหลาย ซึ่งออกแบบมาเพื่อตอบสนองงานตรวจสอบเฉพาะทาง
การตรวจเอกซเรย์แบบสองมิติ
- การสร้างภาพอย่างรวดเร็ว เหมาะสำหรับการตรวจสอบระหว่างกระบวนการ
- การใช้งานหลัก: บรรจุภัณฑ์แบบดั้งเดิม
- การตรวจสอบการบัดกรีลวดแบบง่าย, รูผ่าน และบัดกรีบับ
- พร้อมใช้งานกับ Cheetah และ Cougar - ภาพที่ดีที่สุดในเวลาที่สั้นที่สุดด้วยความละเอียดระดับต่ำกว่าไมโครเมตร
การถ่ายภาพลามิโนกราฟีด้วยคอมพิวเตอร์ (CL)
- การกำหนดคุณสมบัติเชิงพื้นที่ของส่วนประกอบตลอดจนตำแหน่งและขนาดของข้อบกพร่อง
- การใช้งานหลัก: การบรรจุขั้นสูง
- การตรวจสอบโดยการสุ่มตัวอย่างของแพ็กเกจหลายชั้นและอุปกรณ์รวม
- พร้อมใช้งานสำหรับ Cheetah และ Cougar ที่มีเส้นทางลำแสงแนวตั้งและความละเอียดสูงสุด รวมถึงสำหรับระบบ FF20 CT และ FF35 CT ที่มีเส้นทางลำแสงแนวนอน
การถ่ายภาพด้วยคอมพิวเตอร์แบบตัดขวางสามมิติ (ซีที)
- การวัดแบบสามมิติเพื่อกำหนดคุณสมบัติเชิงพื้นที่ ตำแหน่งและขนาดของข้อบกพร่อง
- การใช้งานหลัก: การวิเคราะห์ข้อบกพร่องอย่างละเอียด
- พร้อมใช้งานกับระบบ FF20 CT และ FF35 CT ด้วยการควบคุมที่ใช้งานง่ายผ่านอินเทอร์เฟซผู้ใช้ Geminy และสามารถเพิ่มเป็นอุปกรณ์เสริมกับ Cheetah และ Cougar
- การวัดเชิงมาตรวิทยาด้วยเอกซเรย์คอมพิวเตอร์