Bronkhorst High-Tech BV
Bronkhorst High-Tech BV
เครื่องวัดการไหลของมวล / ตัวควบคุม (EL-FLOW® METAL SEALED ) จาก Bronkhorst High-Tech BV
เครื่องวัดอัตราการไหลของมวลก๊าซแบบโลหะปิดผนึก
เครื่องวัดอัตราการไหลแบบมวล Bronkhorst® รุ่น F-111CM (MFMs) ออกแบบมาโดยเฉพาะเพื่อตอบสนองความต้องการของตลาดเซมิคอนดักเตอร์ รวมถึงการใช้งานก๊าซบริสุทธิ์สูงอื่นๆ อุปกรณ์มีคุณภาพสูงของพื้นผิวและมีการออกแบบแบบโมดูลาร์พร้อมซีลโลหะต่อโลหะที่รับประกันความแน่นหนาในการรั่วซึมในระยะยาว F-111CM เหมาะสำหรับการวัดปริมาณการไหลอย่างแม่นยำในช่วงระหว่าง 0.12…6 sccm ถึง 1…50 slm (อ้างอิงตาม N2) ที่ความดันระหว่างสูญญากาศถึง 1500 psig (100 บาร์)
EL-FLOW® ซีรีส์ Metal Sealed มาพร้อมกับแผงวงจรดิจิทัล ซึ่งให้ความแม่นยำสูง ความเสถียรของอุณหภูมิที่ยอดเยี่ยม และการตอบสนองที่รวดเร็ว แผงวงจรดิจิทัลหลักประกอบด้วยฟังก์ชันทั่วไปทั้งหมดที่จำเป็นสำหรับการวัดและการควบคุม นอกเหนือจากเอาต์พุต RS232 มาตรฐานแล้ว เครื่องมือเหล่านี้ยังมี I/O แบบแอนะล็อกอีกด้วย เป็นทางเลือกหนึ่ง สามารถติดตั้งอินเทอร์เฟซบนบอร์ดเพื่อรองรับโปรโตคอล CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII หรือ TCP/IP, EtherNet/IP หรือ FLOW-BUS ได้ การออกแบบ EL-FLOW® Metal Sealed มีฟังก์ชันการทำงานแบบหลายแก๊ส/หลายช่วงให้เลือกเพิ่มเติม มอบความยืดหยุ่นสูงสุดและประสิทธิภาพกระบวนการที่เหนือกว่าให้กับลูกค้า (OEM-)
ผลิตภัณฑ์อื่น ๆ ในส่วนของ เครื่องวัดการไหลของเหลว
เครื่องวัดการไหลแบบมวล / ตัวควบคุมสำหรับก๊าซ (EL-FLOW® SELECT)
EL-FLOW® ซีรีส์ Select มาตรวัด/ตัวควบคุมการไหลแบบมวล
เป็นเครื่องวัดอัตราการไหลแบบมวลความร้อนที่มีโครงสร้างแบบแยกส่วนพร้อมตัวเครื่องแบบแผงวงจร 'สไตล์ห้องปฏิบัติการ' วาล์...
เครื่องวัดการไหลของเหลว (Mass-Stream™)
เครื่องวัดอัตราการไหลแบบมวลโดยตรง (MFM) และตัวควบคุมอัตราการไหลแบบมวล (MFC) แบบไม่มีบายพาส พร้อมเอาต์พุตแบบอนาล็อกหรือดิจิทัล ซีลยางกันน้ำ มีการสูญเสียแรงดันต่ำ, ความไวต่อการปนเปื้อนลดลง, มีหน้าจอ...
เครื่องวัดการไหลของเหลว (LOW-ΔP-FLOW)
เครื่องวัดอัตราการไหลมวลแบบความดันต่างต่ำ (LOW-ΔP-FLOW) และตัวควบคุมอัตราการไหลมวล
สำหรับการใช้งานที่มีการลดแรงดันต่ำหรือก๊าซกัดกร่อน
เครื่องวัดอัตราการไหลแบบป้องกันการระเบิด (EX-FLOW)
เครื่องวัดอัตราการไหลแบบมวลและตัวควบคุมอัตราการไหลแบบมวลป้องกันการระเบิดของ EX-FLOW สำหรับก๊าซ
ได้รับการรับรอง ATEX สำหรับโซน 1 (ปลอดภัยโดยธรรมชาติ)